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　　金融界2025年1月23日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司取得一项名为“一种用于石墨舟干法刻蚀的真空腔体结构”的专利，授权公告号 CN 222320177 U，申请日期为 2023 年 12 月。

　　专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于石墨舟干法刻蚀的真空腔体结构，包括不锈钢圆筒型的真空腔体，所述真空腔体的内部安装有不锈钢材质的支撑杆；本实用新型通过将真空腔体设置为圆筒型，将石墨舟放入真空腔体内的支撑杆固定位置上，石墨舟分别对接真空腔体内的电极管接头，关上腔门机构，加热管加热升温，到设定温度值后启动真空泵组抽真空，经真空计检测真空腔体内的真空度达到设定真空度后，远程等离子电源通入氩气并点火，远程等离子电源点火成功后通入 NF3,远程等离子电源开始电离 NF3，形成的等离子体进入真空腔体，对石墨舟进行刻蚀清洗，通过此方式再配合圆筒型真空腔体有效降低腔壁会因刻蚀化合物堆积出现腐蚀产生粉末。

　　天眼查资料显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司，成立于2012年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3550万人民币，实缴资本2724万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市晟鼎精密仪器有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目64次，知识产权方面有商标信息6条，专利信息138条，此外企业还拥有行政许可9个。